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透射電鏡真空系統(tǒng)部分的故障排除維修：

真空系統(tǒng)故障：

故障一：

正常開機(jī)，只有V1閥～V3閥打開，其他閥均處于關(guān)閉狀態(tài)。一般情況下，開機(jī)30～40分鐘左右，真空圖標(biāo)顯示V1閥～V6閥打開，V12閥、V13閥打開，此時其他閥未打開，說明儀器不正常。再次開機(jī)偶爾可聽見鏡體內(nèi)有異常聲音，屏幕提示PI-1：253，PI-2：187，PI-3：232，PI-4：126，此時V2閥、V3閥處于關(guān)閉狀態(tài)。檢查空壓機(jī)，壓力為3.65kg/cm2偏低。

【故障分析】：

分析氣閥壓力不足，導(dǎo)致氣閥開關(guān)不穩(wěn)定。

【故障排除】：

打開空壓機(jī)，壓力加至4.8kg/cm2，再次開機(jī)，抽真空正常，各閥按儀器順序正常打開和關(guān)閉，儀器恢復(fù)正常運(yùn)行。

故障二：

打開電源啟動儀器，機(jī)械泵旋轉(zhuǎn)一周，然后迅速停止。

【故障分析】：

從故障現(xiàn)象分析，機(jī)械泵能旋轉(zhuǎn)一周，說明啟動電源沒有問題，機(jī)械泵旋轉(zhuǎn)要靠啟動感應(yīng)傳感器來維持旋轉(zhuǎn)，問題可能在傳感器及控制系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)未發(fā)現(xiàn)異常。

【故障排除】：

用備件傳感器更換，開機(jī)故障不變，因此重點(diǎn)放在檢查控制系統(tǒng)，打開控制系統(tǒng)檢查發(fā)現(xiàn)內(nèi)部很潮濕，部分機(jī)械部件已生銹，問題根源應(yīng)該就在于此。取下生銹部件進(jìn)行除銹清洗，烘干并加一些潤滑脂防銹，清理控制器內(nèi)部潮濕區(qū)域，安裝復(fù)原修理部件，通電開機(jī)機(jī)械泵恢復(fù)正常旋轉(zhuǎn)，故障排除。

小結(jié)：分析原因機(jī)械部件生銹導(dǎo)致機(jī)械動作受阻，使機(jī)械泵啟動困難被憋死，傳感器無感應(yīng)信號最后保護(hù)電路動作，切斷工作電源。

故障三：

開機(jī)抽真空機(jī)械泵（RP）運(yùn)行正常，30秒后V12閥打開，隨即幾秒鐘后V12閥又關(guān)閉，機(jī)械泵停止保護(hù)狀態(tài)，5分鐘后儀器自動關(guān)機(jī)，無法工作。

【故障分析】：

儀器自動關(guān)機(jī)，說明某處異常進(jìn)入保護(hù)狀態(tài)，循環(huán)水系統(tǒng)，空壓機(jī)系統(tǒng)，真空抽取系統(tǒng)都是重點(diǎn)檢查對象。

【故障排除】：

檢查循環(huán)水水溫、水流量正常。

檢查空壓機(jī)運(yùn)行正常，壓力指示正常。

檢查負(fù)責(zé)低真空的機(jī)械泵（RP）運(yùn)行正常。

檢查負(fù)責(zé)高真空的擴(kuò)散泵（DP）情況，打開擴(kuò)散泵發(fā)現(xiàn)加熱盤（爐）是冷的，用萬用表測量內(nèi)部加熱絲已燒斷（正常為65歐左右），說明加熱盤已損壞。更換備用加熱盤，安裝復(fù)原擴(kuò)散泵，檢查各部件及接線無誤后，重新開機(jī)經(jīng)過40分鐘運(yùn)行，各真空參數(shù)恢復(fù)正常，各閥門也按順序正常打開，儀器恢復(fù)正常工作。

小結(jié)：擴(kuò)散泵加熱盤（爐）連續(xù)工作時間較長，加熱絲容易燒斷，需要經(jīng)常檢查和維護(hù)，損壞后及時更換。

故障四：

開機(jī)前面抽真空一切正常，當(dāng)進(jìn)行到打開V6a閥抽電照相真空時，結(jié)果真空度下降，V6a閥無法打開，自動回到前一級抽真空，反復(fù)循環(huán)真空度始終上不去。

【故障分析】：

由于前面抽真空沒有發(fā)現(xiàn)問題，在進(jìn)行照相室抽真空時，真空度下降，分析照相室有可能存在泄漏。進(jìn)行真空度泄漏檢測，結(jié)果照相室泄漏最快，由此判斷照相室確實(shí)存在泄漏。

【故障排除】：

照相室結(jié)構(gòu)復(fù)雜，密封口較多，查找漏點(diǎn)較為困難。因此，根據(jù)先易后難的原則逐步檢查和排除故障部位。

1、清洗照相時門邊框及密封條，重新涂抹密封脂，開機(jī)故障不變。

2、清洗前端大觀察窗和兩側(cè)小觀察窗及密封條，重新涂抹密封脂，開機(jī)故障不變。

3、清洗照相室底部掃描附件，重新涂抹密封脂，故障不變。

4、檢查小熒光屏扳手組件密封情況，組件結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不好隨意拆卸檢查，臨時加工一個部件代替組件，開機(jī)故障不變。說明組件無泄漏問題，換回組件，重新涂抹密封脂。

5、檢查V3閥、V9閥真空泄漏率，工作正常未發(fā)現(xiàn)泄漏，

6、檢查照相室后蓋組件密封銜接處，臨時加工一個部件代替組件，開機(jī)抽真空V6a閥能正常打開，說明故障在后蓋組件上，仔細(xì)檢查發(fā)現(xiàn)組件上電極的絕緣材料老化開裂導(dǎo)致真空泄漏。用密封膠封住開裂部位，干燥后組件重新涂抹密封脂，安裝復(fù)原，開機(jī)抽真空運(yùn)行恢復(fù)正常，故障排除。

小結(jié)：照相室是電鏡關(guān)鍵部位，真空要求很高，密封不良就會導(dǎo)致無法工作，因照相室的密封部位較多，應(yīng)遵循先易后難的原則逐步檢查，否則有可能會擴(kuò)大故障范圍，特殊部位可加工一些部件臨時替代進(jìn)行密封，以便于故障部位的判斷，也能提高檢修效率。