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激光干涉儀常見四種故障原因排查與檢修

1、干涉環(huán)不圓正

原因:

(1)分光板膜層面反向。

(2)兩組出射光瞳錯位。

(3)分光板、補(bǔ)償板、移動鏡及參考鏡有壓應(yīng)力。

檢修方法:分光板膜層應(yīng)是入射光的第二面，如裝在第一面，則調(diào)出的等傾干圓涉環(huán)是直的橢圓形干涉環(huán)，可旋松分光板的三只寬頭螺釘，取出分光板，反過180°重新裝入金屬框內(nèi)，把三只寬頭螺釘旋到原來的壓緊力。分光板調(diào)整請參考故障檢修方法。分光板，補(bǔ)償板的寬頭螺釘，移動鏡及參考鏡的調(diào)節(jié)滾花螺釘壓緊 力過大，使各鏡片逐步變形產(chǎn)生等傾干涉圓環(huán)不規(guī)則，適當(dāng)放松過緊的 螺釘即可消除。

2、讀數(shù)空位大于 0.03mm

原因:

(1)傳動螺母和絲桿的配合間隙大。

(2)拖板體下面的頂塊間隙偏大。

(3)檔板與導(dǎo)軌配合過松。

檢修方法:可先調(diào)整頂塊間隙，拖板體在工作狀態(tài)下旋松頂塊螺釘，左手大拇 指將拖板體向讀數(shù)頭方向輕推，中指壓緊頂塊，然后固緊頂塊螺釘。如果仍未達(dá)到要求，調(diào)整檔板與導(dǎo)軌的間隙達(dá) 0.02mm，再調(diào)節(jié)傳動螺母上 的兩只螺釘(老產(chǎn)品有四只)。

3、 轉(zhuǎn)動粗動手輪時拖板不走。

原因:

(1)儀器受強(qiáng)烈沖擊后，絲桿向尾架方向脫出，造成讀數(shù)頭嚙合齒輪錯位。

(2) 傳動小齒輪固緊螺母松動， 造成傳動小齒輪與絲桿打滑。

(3)大齒輪及粗動手輪的壓緊螺母松動。

檢修方法:首先檢查粗動手輪壓緊螺母，然后檢查精密絲桿是否向尾架方向脫出，如已脫出，可松動尾架三只螺釘，一面將絲桿推向讀數(shù)頭，一面慢慢轉(zhuǎn)動粗動手輪，最后旋緊尾架三只螺釘，如果是小齒輪固緊螺母和大齒輪固緊螺母松動，先拆去傳動盒蓋，再拆下門字架，固緊螺母，重新依次裝配即可。

4、轉(zhuǎn)動微動手輪時拖板不走。

原因:

(1)傳動小齒輪壓緊螺母松，使盆形彈簧片無壓緊力，造成 蝸輪空轉(zhuǎn)。

(2)粗微動有脫開機(jī)構(gòu)的干涉儀，蝸桿壓緊彈簧片失靈。

(3)微動手輪壓緊螺母松。

檢修方法:先檢查微動手輪的壓緊螺母。然后打開傳動盒蓋，取下門字架，旋緊傳動小齒輪壓緊螺母，使盆形彈簧片壓緊蝸輪，此時轉(zhuǎn)動蝸輪應(yīng)帶動精密絲桿，依次裝好拆下的另件。 如果是脫開機(jī)構(gòu)，應(yīng)檢查蝸桿拖板是否已被壓死。如被壓死，可拆 下左右壓塊，清洗、上油(7101 油脂)重新裝配即可，如蝸桿拖板較松，說明蝸桿拖板的彈簧壓力減小，(1)可拆下彈簧改小 R 增加彈性。(2)調(diào)換彈簧片。