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英國Quorum離子濺射儀Q150V S PLUS常見故障的處理技巧

1.使用一段時(shí)間后，濺射電流變小：對靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進(jìn)行檢查，若是靶材變色或破裂，要對靶材進(jìn)行更換；若是有油污，則用無水乙醇進(jìn)行清潔，等到干了以后才能夠抽真空；

2.在使用一段時(shí)間以后，有著過低的真空：檢查濺射室中或管道內(nèi)是否有油，可以使用汽油進(jìn)行清洗；

3.濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低：陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離，將陰極罩逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，對間距進(jìn)行調(diào)整；

4.過低的真空：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊；

5.真空泵出現(xiàn)反油現(xiàn)象：機(jī)械真空泵長期保持極限真空。

離子濺射儀常見故障，分以下四種：

1、故障現(xiàn)象：使用一段時(shí)間后，濺射電流變小

解決方法：對靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進(jìn)行檢查。前兩者對靶材進(jìn)行更換，后者被油蒸汽污染，通過無水乙醇進(jìn)行清潔，等到干了以后才能夠抽真空。

2、故障現(xiàn)象：在使用一段時(shí)間以后，有著過低的真空。

解決方法：對濺射室中或管道內(nèi)是否有油進(jìn)行檢查，能夠使用汽油進(jìn)行清洗。

3、故障現(xiàn)象：濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低

解決方法：陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離，將陰極罩逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，對間距進(jìn)行調(diào)整。  

4、故障現(xiàn)象：有著過低的真空

解決方法：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊。