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EMS1050等離子體表面處理儀真空泵過(guò)載維修

一、真空泵過(guò)載解決

1、出現(xiàn)此情況請(qǐng)首先觀察系統(tǒng)參數(shù)有無(wú)變化，設(shè)備突然斷電會(huì)引起系統(tǒng)參數(shù)歸零，導(dǎo)致設(shè)備出現(xiàn)此類(lèi)報(bào)警;

2、如系統(tǒng)參數(shù)無(wú)變化，請(qǐng)確認(rèn)熱繼電器是否自動(dòng)保護(hù)，按復(fù)位鍵，然后啟動(dòng)真空發(fā)生系統(tǒng)。如沒(méi)有自動(dòng)保護(hù)，請(qǐng)檢查電氣線路有無(wú)斷路或短路情況;

3、檢查導(dǎo)線是否有斷路或短路情況。

二、真空泵機(jī)械故障解決

1、所處理產(chǎn)品有嚴(yán)重滲氣情況，真空倒計(jì)時(shí)時(shí)間設(shè)備較短，無(wú)法在設(shè)備時(shí)間內(nèi)抽到背底真空;

2、檢查真空門(mén)是否關(guān)到位;

3、逐級(jí)檢查真空系統(tǒng)中各連接點(diǎn)，看是否有管道連接不良或損壞;

4、真空泵故障，需檢查保養(yǎng)真空泵。

上海仰光電子--精密儀器儀表維修中心

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