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安捷倫HLD PD03氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障原因及維修

氦質(zhì)譜檢漏儀機械泵故障及處理：

1、機械泵不動作

檢查項目有：氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓是否正常，開關(guān)是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。

2、機械泵聲音異常

檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出，更換油霧過濾器)。

氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵故障及處理：

1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒有工作

有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無法啟動。檢查導(dǎo)致壓力過高的項目有：真空規(guī)管是否有問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉(zhuǎn)動，系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害，可自行用工具撥動葉片，判斷其能否轉(zhuǎn)動。

2、分子泵加速指示燈不亮

電路板上的保險絲燒斷，更換保險絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。

3、分子泵故障燈亮

檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否處于R位置，此時應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障及處理：

1、燈絲無法正常啟動，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通，消除短路現(xiàn)象。

2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠遠超過氦質(zhì)譜檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決，只需對故障進行定位，交由維修ZX處理。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢測開始時出現(xiàn)的故障：

1、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)

檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應(yīng)。

2、檢漏鍵無效(指示燈不亮)

I/O短接插頭未插入氦質(zhì)譜檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座，這時氦質(zhì)譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號，而不接受遙控器信號，檢漏鍵無效。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時出現(xiàn)的故障：

1、不向細檢方式轉(zhuǎn)換，檢漏口壓力<2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮，如果亮，說明氦質(zhì)譜檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開關(guān)切換到自動轉(zhuǎn)換狀態(tài)。

2、靈敏度低。檢查三極規(guī)所測壓力，等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時再檢漏;如果壓力達到，檢查離子源是否被污染，清洗離子源。

3、氦本底太高。檢查機械泵油是否失效(泵油長期使用變質(zhì)會吸附較多的氦氣，導(dǎo)致氦污染)，檢查儀器系統(tǒng)是否有漏，真空管路是否污染，檢查三極規(guī)上壓力是否達到10-6MPa，離子源是否污染。另外還要注意環(huán)境的污染問題，如果有多臺氦質(zhì)譜檢漏儀，且氦氣的使用量較大，通風(fēng)不好時，致使氦氣擴散慢，也會導(dǎo)致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處，安裝一個幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣，就大大減少了環(huán)境的氦污染。

4、工裝設(shè)計不合理導(dǎo)致檢漏通不過。初檢時工作正常，工作幾次后，抽速大大減慢，檢漏不過;加死堵氦質(zhì)譜檢漏儀不漏，工作正常。這是因為工裝設(shè)計不合理所致，比如工裝結(jié)構(gòu)不合理，內(nèi)表面太粗糙，導(dǎo)致過多的氦氣殘留;或者密封設(shè)計不合理導(dǎo)致密封不可靠(由于工裝設(shè)計人員對專業(yè)真空設(shè)計不熟悉)。

5、操作不合理導(dǎo)致故障。如工作中，有一個大漏的工件，由于操作人員判斷錯誤，不認為工件漏，而去檢查工裝的連接或者氦質(zhì)譜檢漏儀，多次對這一工件檢漏。這樣就會發(fā)現(xiàn)，所有工件都不過。原因是大漏的工件經(jīng)多次檢漏后，有大量的氦氣進入質(zhì)譜室，造成質(zhì)譜室污染。解決的辦法是，清理質(zhì)譜室，反復(fù)吸氣排氣。